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入門真空・薄膜・スパッタリング

R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳. -- 技報堂出版, 1985. <BB00011575>
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入門真空・薄膜・スパッタリング

R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳. -- 技報堂出版, 1985. <BB00011575>
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No. 巻冊次等 所蔵館 配置場所 資料ID 請求記号 禁帯出区分 状態 返却期限日 予約件数
0001 生産図 ２Ｆ一般 0231966 534.93||St9 帯出可 整理済 0件
No. 0001
巻冊次等
所蔵館 生産図
配置場所 ２Ｆ一般
資料ID 0231966
請求記号 534.93||St9
禁帯出区分 帯出可
状態 整理済
返却期限日
予約件数 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
出版・頒布事項 東京 : 技報堂出版 , 1985.10
形態事項 2,2,3,145p ; 22cm
巻号情報
国際標準図書番号 4765503585
その他の標題 原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering
その他の標題 異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門
シンクウ ハクマク スパッタリング : ニュウモン
学情ID BN00148324
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Stuart, R. V. <AU00004471> 著
著者標目リンク 毛利, 衛||モウリ, マモル <AU00004472>
著者標目リンク 数坂, 昭夫||カズサカ, アキオ <AU00004473>
分類標目 流体機械．流体工学 NDC8:534.93
分類標目 科学技術 NDLC:NB126
件名標目等 真空工学||シンクウコウガク
件名標目等 薄膜||ハクマク
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